近期，华工科技与华中科技大学等高等院校联合研制的全自动晶圆激光退火设备在九峰山实验室完成了中试阶段，预备发往客户进行出产端的批量验证。这一里程碑事情不只标志着湖北省在半导体激光加工系列配备范畴核心技能的自主可控，更为国内半导体工业的展开注入了强壮动力。
激光退火是半导体晶圆加工中不可或缺的一环，其基本功能是经过准确加热来构成电路的接触点。华工科技半导体面板事业部商场总监肖冲介绍，激光束以特定的形状打在晶圆的外表，借此提高电极之间的导电功能。在此过程中，构成的镍硅合金层关于后续的导电等工艺至关重要。长期以来，这项要害技能被国外企业独占，其复杂性表现在光学、运动操控等多个范畴，企业单靠本身力气难以实现技能打破。
为了应对这一应战，自2022年起，华工科技与华中科技大学等单位展开了深化的协同立异。在整个研制过程中，充沛的发挥了高校与企业的各自优势，构成了强强联合的局势。这种协作形式加快了激光退火设备的开发，样机的开发周期缩短了近一半。一起，中试验证的成果为，这款新设备的加工功率比商场上现有产品提高了30%。
跟着这款设备的成功问世，华工科技已经在半导体晶圆激光加工范畴展现了全面的技能实力，之前已自主研制的切开、检测和封装等配备，构成了一个完好的自动化解决方案。肖冲着重，经过自主可控的核心技能，华工科技能够为工业链上的客户供给全方位的服务。
去年底，由华工科技牵头，与华中科技大学及其他单位一起建立的半导体激光配备工业立异联合实验室，标志着湖北激光高端配备生态圈的加强完善。这一实验室的建立，促进了技能的深度沟通和资源的高效配备，为后续的工业立异铺平了路途。
在全球半导体工业加快速度进行展开的浪潮中，国内企业越来越意识到技能自主可控的重要性。华工科技在激光退火设备上的成功中试，反映了我国半导体配备制造业在要害技能上的逐渐打破。这不只有助于提高我国在全球半导体工业链中的话语权，也为未来的技能立异树立了标杆。
总归，华工科技全自动晶圆激光退火设备的成功中试，不只是高科技企业与高校协作的一次成功测验，也是我国半导体工业自傲与自主立异的表现。未来，凭仗这一系列自主研制的配备，华工科技必将在剧烈的商场之间的竞赛中锋芒毕露，推进整个职业的继续前进。
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